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日本applics高溫高濃度臭氧水分解設(shè)備

日本applics高溫高濃度臭氧水分解設(shè)備

更新日期:2024-05-12

訪問量:760

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡要描述:
日本applics高溫高濃度臭氧水分解設(shè)備
這是一種具有冷卻功能的臭氧水分解裝置,其內(nèi)部具有經(jīng)過驗證的臭氧水分解裝置。它主要用于分解半導(dǎo)體或液晶制造過程中使用的純臭氧水。

日本applics高溫高濃度臭氧水分解設(shè)備

日本applics高溫高濃度臭氧水分解設(shè)備 

 

高溫高濃度臭氧水分解設(shè)備

 本裝置は高溫高濃度のオゾン水を 1ppm 以下の濃度に 分解します。冷卻受水槽を用いることで 70℃のオゾン水 を 35℃まで冷卻し、紫外線の後段に活性炭槽を設(shè)けるこ とで、1ppm 以下まで分解する構(gòu)造となっています。

本裝置は高溫高濃度のオゾン水を 1ppm 以下の濃度に 分解します。冷卻受水槽を用いることで 70℃のオゾン水 を 35℃まで冷卻し、紫外線の後段に活性炭槽を設(shè)けるこ とで、1ppm 以下まで分解する構(gòu)造となっています。
 

這是一種具有冷卻功能的臭氧水分解裝置,其內(nèi)部具有經(jīng)過驗證的臭氧水分解裝置。它主要用于分解半導(dǎo)體或液晶制造過程中使用的純臭氧水。

*尺寸和內(nèi)部安裝零件可能會因規(guī)格而異。


*照片是設(shè)備的示例。 

產(chǎn)品名稱

高溫高濃度臭氧水分解設(shè)備

模型

OZK-JSHT002

能力

*取決于使用條件和環(huán)境。

 

原則

紫外線照射法

電源供應(yīng)

單相AC200V±10%

評論

具有散熱功能

具有各種安全功能和警報

 製品名 高溫高濃度オゾン水分解裝置 型 式 OZK-JSHT002 原 理 紫外線照射方式及び活性炭通水式 対 象 純オゾン水又は 1%以下の弗酸オゾン水 (石英ガラスを溶解する物質(zhì)や紫外線の透過を妨げる物質(zhì)を含まないこと) 試料水 條 件 1)分解液溫度範(fàn)囲:70℃以下(周囲溫度:20±5℃、50±10%RH以下) 2) 試料水圧力 :0.3 MPa 以下(衝撃圧不可) 3)使用流量範(fàn)囲:8L/min 以下 接続口 詳細(xì)仕様書にてご確認(rèn)ください。(通水入口、通水出口) 裝 置 能 力 1)オゾン水分解能力:IN 150mg/L ⇒ OUT 1mg/L ※詳細(xì)條件あり 2)冷卻タンク能力 :IN 70℃ ⇒ OUT 32.5±3℃ ※詳細(xì)條件あり 3)活性炭タンク能力:通水圧力 0.3Mpa 使用推奨 0.15Mpa 以下 裝置能力の詳細(xì)條件は別資料【納入仕様書】にてご確認(rèn)ください。 安 全 対 策 1)警報:納入仕様書【付表 1 “警報時の機(jī)器別動作表”參照 2)裝置內(nèi)機(jī)器:非常停止ボタン、排気圧センサー、オゾンガスモニタ 漏水センサー、液面センサー、メンテナンスパネル開閉センサー搭載 電 源 単相 AC200V±10%、10A?2KVA ※接地必須 接液部材 質(zhì) PFA、PTFE、ETFE、硬質(zhì) PVC、石英ガラス 主 な 材 質(zhì) 1) 本體フレーム?パネル : SUS304 2) 內(nèi)部支持構(gòu)造部品 : SUS304、A5052、硬質(zhì)PVC等 3) 排気系配管部品 : 硬質(zhì)PVC 4) 制御系エア配管部品 : ポリエチレン 裝 置 外 徑 幅 1350 × 奧行 1600 × 高さ 1350 (突起物含む) 設(shè)置方 法 分解塔:橫置 / 制御ユニット:取付穴(4箇所)を利用して壁面等へ取付 付 屬 品 1)純水供給口変換アダプタ 6)処理水受入口2重配管 2)アラーム信號線 7)プラグ類 3)アンカー用ブラケット 8)敷板 4)アイボルト 9)インシュロック 5)排気口拘束帯 10)シリコン????? 

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