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日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series
更新日期：2024-05-12
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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址：
簡要描述：
日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series該裝置是用于防止由于單晶片清潔裝置的主排氣管道中的壓力波動而在制造過程中波動的裝置。*開發(fā)的氣動橡膠膨脹閥可實現(xiàn)小尺寸且壓力損失極低的高速壓力控制。通過適當(dāng)?shù)乜刂婆艢鈮毫?，也可以適當(dāng)?shù)乜刂婆艢饬髁?，因此可以通過控制排氣管的總流量和壓力來顯著降低能量成本。
日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series
日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series
主要用途
- ♦單晶圓清洗設(shè)備的腔室壓力控制
- ♦清潔送風(fēng)室和清潔卡車室的壓力控制
- ♦受排氣管壓力波動影響的設(shè)備和工藝
- ♦液晶氣刀罐排氣壓力控制
- ♦潔凈室的排氣壓力控制
可從5A開始
| 物品 | EPS-5200 | EPS-5150 | EPS-5100 |
| 連接管口徑 | 200A | 150A | 100A |
| 流量范圍（一次側(cè)） | 0.5至15 Nm3 /分鐘 | 0.5-10 Nm3 /分鐘 | 0.3-5 Nm3 /分鐘 |
| 如果流量小于最小流量，則可能無法達(dá)到設(shè)定壓力。 | |||
| 壓力損失 | 50 Pa at 15 Nm3 / min（空氣） | 10 Nm3 / min時20 Pa以下（空氣） | 10 Nm3 / min時20 Pa以下（空氣） |
| 控制閥連接 | 200A管道 | 150A水暖 | 100A管道輸出 |
| 調(diào)整壓力范圍（一次壓力） | -50至-999Pa（取決于與大氣壓和二次??壓力的壓差） | ||
| 二次壓力（閥門下游壓力） | （控制壓力-50）Pa以下 | ||
| 如果壓差小于此值，則主要調(diào)節(jié)范圍將變窄。 | |||
| 壓力精度 | 滿量程的±2％ | ||
| 控制紋波（穩(wěn)定控制期間的變化） | 滿量程的±1％（在二次壓力波動的±10 Pa內(nèi)） | ||
| 耐壓（一次壓力） | 50kPa以內(nèi)（與大氣壓的壓差） | ||
| 反應(yīng)性 | 在2秒鐘內(nèi)達(dá)到設(shè)置的98％（典型值） | ||
| 流體溫度 | 10-50℃ | ||
| 主機環(huán)境溫度（精度保證溫度） | 15-35℃ | ||
| 電源電壓 | 24V DC±10％ | ||
| 外部輸出 | 壓力信號：1-5V DC | ||
| 報警：NPN晶體管集電極開路DC 30V <100mA | |||
| 控制器（CD-100） | 現(xiàn)場設(shè)置或外部設(shè)置均可切換 | ||
| 外部設(shè)定信號 | 壓力設(shè)定信號：4?20mA | ||
| 閥門：強制打開，控制 | |||
| （選件）控制/打開（C / O）：24V DC ON / OFF | |||
| 報警信號 | 壓差（可選設(shè)置） | ||
| 身體異常（包括壓力控制器異常） | |||
| 串行通訊 | RS485 | ||
| 供氣（N2）壓力 | 0.3±0.1兆帕 | ||
| 每個端口 | Φ6mm一觸式（閥門，電動氣動部分） | ||
| Φ4mm一鍵式（用于壓力測量） | |||
| 閥門的供應(yīng)管道是可選的 | |||
| 氣體接觸材料 | PVC，Viton，EPDM | ||
| 安裝姿勢 | 自由 | ||
| 控制閥狀態(tài) | 電源關(guān)閉時保持閥狀態(tài) | ||
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