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技術(shù)文章ARTICLE
Nasgiken SC-9200微量金屬污染物回收器：半導(dǎo)體制造中的創(chuàng)新解決方案
發(fā)布時(shí)間： 2025-05-06 點(diǎn)擊次數(shù)： 132次在半導(dǎo)體制造和納米技術(shù)領(lǐng)域，對材料的純凈度有要求。微量金屬污染物的存在可能會(huì)嚴(yán)重影響產(chǎn)品的性能和可靠性。為此，日本Nasgiken公司推出了SC-9200微量金屬污染物回收器，專為硅晶片表面和側(cè)面的微量金屬污染物收集而設(shè)計(jì)，以提高分析效率和準(zhǔn)確性。
設(shè)備功能
SC-9200微量金屬污染物回收器能夠收集附著在硅晶片表面和側(cè)面的微量金屬污染物，非常適合每天分析5至10個(gè)晶圓的需求。該設(shè)備具備自動(dòng)清洗盛裝收集液體的容器的功能，降低人為污染的風(fēng)險(xiǎn)，并減少工作人員之間分析準(zhǔn)確性的差異。此外，該設(shè)備還取得了晶圓側(cè)面斜面復(fù)原以及晶圓表面親水性恢復(fù)技術(shù)。
技術(shù)規(guī)格
根據(jù)Nasgiken的信息，SC-9200的操作控制可以通過電腦完成，支架具的裝卸、采樣液的供給和回收均能自動(dòng)進(jìn)行，從而減少操作員引起的污染。設(shè)備外形尺寸為690×550×790mm，重量為55Kg，所需外部資源包括電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源。
應(yīng)用場景
SC-9200微量金屬污染物回收器主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中，對硅晶片進(jìn)行表面和側(cè)面的微量金屬污染物分析。該設(shè)備適用于需要高精度和高效率分析的環(huán)境，如半導(dǎo)體制造廠、材料研究機(jī)構(gòu)等。
結(jié)論
Nasgiken SC-9200微量金屬污染物回收器以其高效的污染物收集能力、自動(dòng)化操作和技術(shù)，為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域提供了一種創(chuàng)新的解決方案。通過減少人為污染和提高分析準(zhǔn)確性，SC-9200有助于提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。
產(chǎn)品中心
Products
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農(nóng)用機(jī)械
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質(zhì)構(gòu)儀
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糖度計(jì)
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測試儀
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氣泵
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成分分析儀
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分析儀器
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試驗(yàn)機(jī)
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檢查燈
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研磨介質(zhì)球
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光學(xué)儀器
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檢驗(yàn)儀
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鑒別儀
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濃度計(jì)
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涂布機(jī)
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超聲波均質(zhì)機(jī)
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傳感器
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壓力表
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位儀計(jì)
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露點(diǎn)儀
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數(shù)字水平儀
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水分計(jì)
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溫度計(jì)
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厚度計(jì)
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光度計(jì)
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焊接機(jī)
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切割機(jī)
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應(yīng)力儀
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水平儀
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均質(zhì)機(jī)
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診斷儀
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控制器
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馬達(dá)
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去除機(jī)
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零件進(jìn)料器
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研磨計(jì)
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真空計(jì)
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球閥
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點(diǎn)膠機(jī)
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粘度計(jì)
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過濾器
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照度計(jì)
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點(diǎn)焊機(jī)
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混合機(jī)
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伊原電子密度計(jì)
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塑料粒子色選機(jī)
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臭氧儀
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質(zhì)量計(jì)
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錘磨機(jī)
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密度計(jì)
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張力計(jì)
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監(jiān)測儀
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比色計(jì)
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電導(dǎo)率儀
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冷卻器
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離子計(jì)
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粉碎設(shè)備
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耗材/配件
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傳熱設(shè)備
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測量/計(jì)量儀器
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大米樣品保存箱
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研究用小型色選機(jī)
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光源
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陶瓷材料
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水質(zhì)檢測設(shè)備
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物性檢測設(shè)備
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氣體檢測儀
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茶葉生產(chǎn)線
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日本進(jìn)口
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行業(yè)專用儀器
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電氣設(shè)備
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加熱裝置
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水產(chǎn)設(shè)備
